📘Taper(金属渐变过渡结构)
4.1 什么是 Taper?
Taper 是在版图中让金属从“宽”逐渐过渡到“窄”的结构,用斜坡、梯形或多段式实现线宽平滑变化。
主要用于避免电流密度突变、EM 热点、电阻跳变以及尖角电场集中等问题。
4.2 为什么需要 Taper?
1)避免 EM(电迁移)
宽线 → 窄线若突然收缩,会造成电流密度在收缩点瞬间激增,形成热点,导致 EM 失效。
Taper 平滑过渡,可显著降低局部 J 峰值。
2)避免电阻突变导致的 IR-drop 问题
金属突然变窄会造成电阻 R 突然变大,使:
IR-drop 峰值增加时序不稳定局部供电波动变大
Taper 让电阻随线宽逐渐变化。
3)避免尖角效应
几何突变容易造成电场集中,特别在模拟/高压区域可能引起局部击穿。
Taper 可以显著降低电场集中。
4.3 Taper 的典型版图形态
● 斜坡式 taper
──────── ────────
● 梯形 taper
宽 → 次宽 → 更窄 → 最终宽度
● 多段 taper
10um → 6um → 4um → 2um
原则:不直角收缩,不突然变窄。
4.4 Taper 的使用场景
1)大电流路径
例如:
VDD/VSS 主干LDO 输出大驱动 buffer 输出
这些区域若出现突然收缩,容易造成 EM 热点。
2)PAD → 核心区金属连接
PAD 层金属非常宽厚,而核心金属极窄,必须通过 taper 做阶梯式收缩。
3)高层金属 → 低层 VIA 区
如 M8 → M5,宽线直接 fan-in 到 VIA 会形成高 EM 风险,因此必须先 taper 再降层。
4)高速、模拟、RF 信号线
阻抗不能出现大的突变,需要 taper 保持结构连续性。
4.5 工艺中 Taper 的常见约束(DRC)
最小 taper 长度(如 ≥ 2–5 μm)最大 taper 角度(如 ≤ 15°)线宽变化比例限制禁止宽线直接接窄线VIA 区不能直接接收宽金属
这些规则都是为保证 EM、IR-drop 与电场可靠性。
4.6 设计技巧
技巧 1:taper 越长越好
越长的 taper → 电流密度更均匀 → 可靠性更强。
技巧 2:多段 taper 优于一步收缩
比起:
10um → 2um
更推荐:
10um → 6um → 4um → 2um
技巧 3:电源路径必须加 taper
否则很容易形成 EM hotspot,导致长期可靠性问题。
4.7 EM signoff 中的意义
EM 工具计算电流密度:
J = I / (W * T)
若线宽 W 在某一点突然变窄,会产生极高的 J 峰值。
Taper 让 W 缓慢减小,显著降低 EM 报错概率。
4.8 总结
Taper 是用于提高金属互连可靠性的关键结构,通过让线宽逐渐变化来降低:
电流密度突变EM 风险电场集中阻抗跳变与噪声供电不稳定
一句话总结:
Taper = 让所有几何收缩“温柔过渡”,避免热点与不稳定。
















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