三维力传感技术：原理、应用与产业前瞻报告
执行摘要
三维力传感器作为感知三维空间中力学信息的核心元件，正从传统的刚性、单一功能器件，向着柔性化、多模态、高度集成化和智能化的新范式演进。这种技术革新是实现机器人、可穿戴设备和人机交互系统与环境、人、物之间更自然、更精准交互的根本前提。
本报告对三维力传感器的技术发展进行了系统性梳理，识别出压阻式、电容式和压电式等主流传感技术路线，并深入剖析了柔性电子技术在材料（如液态金属、碳纳米管）和结构设计（如仿生结构）上的关键突破。报告指出，多维力传感器最核心的技术挑战在于“维间耦合”（串扰）问题。解决这一问题的方案正从复杂的机械结构设计，向着硬件结构优化与智能解耦算法相结合的协同路径发展。
在应用层面，三维力传感器已成为工业机器人、医疗康复设备和新兴人形机器人的“触觉”基石。全球柔性电子市场规模预计到2032年将增长至709.7亿美元 ，表明其应用前景广阔。尽管高端市场目前仍由国际巨头主导，但以宇立仪器和坤维科技为代表的国内企业，正凭借技术创新和批量化生产能力，加速实现国产化替代，并逐步进入高端应用领域 。
展望未来，三维力传感器的发展将聚焦于多模态传感器融合、基于人工智能（AI）的智能解耦、轻量化与集成化设计，以及在人形机器人和医疗领域的深度渗透。这些趋势将共同推动三维力传感技术迈向一个更加智能和普适的新时代。
第一章 引言：三维力传感技术的核心价值与发展背景
1.1 定义与技术范式
三维力传感器是一种能够同时测量三维空间中X、Y、Z三个正交方向上力或力矩的精密器件 。其核心作用在于为机器人和自动化设备提供类似于人类“触觉”的感知能力 。该类传感器以其轻量、小体积、结构简单和强解耦性等特点，尤其适用于微小型腿式机器人的腿部三维接触力检测，甚至可以作为腿部结构的组成部分 。
从技术范式来看，三维力传感技术正在经历一场从“刚性”到“柔性”的根本性变革。传统的传感器主要依赖于刚性基板和复杂的机械结构 。然而，随着柔性电子技术的兴起，三维力传感器打破了传统刚性电路的限制 。柔性电子器件基于柔性或可伸缩的基底，集成了大面积、大规模的不同材料和功能部件，实现了可变形、重量轻和功能可重构的特点 。这种新范式扩展了电子学的应用领域，使其能够无缝集成到柔软、可移动、可弯曲甚至可拉伸的表面，从而适应可穿戴和软体机器人等动态环境 。
1.2 报告目标与范围
本报告旨在为研发工程师、技术经理及行业研究者提供一份关于三维力传感器的系统性、前瞻性分析。报告将从技术原理的深度解析出发，延展至关键材料与制造工艺的创新，并最终落脚于其在机器人、医疗等高价值领域的应用。报告还将对全球市场格局进行战略性评估，并对未来的技术发展趋势与产业机遇提出见解。
第二章 三维力传感器的技术分类与核心原理
三维力传感器根据其测力原理可分为多种类型，每种类型都有其独特的工作机制、优势和局限性。
2.1 传感原理的多元化分析
2.1.1 压阻式传感器：原理、优势与材料
压阻式传感器是目前应用最广泛的技术之一。其核心工作原理在于应变片（strain gauge）效应 。应变片作为一种电导体，牢固地附着在受力变形的弹性体上。当弹性体受力时，应变片会发生伸长或缩短，导致其电阻值发生变化 。通常，四片应变片会组成一个惠斯通电桥，将微小的电阻变化转化为易于测量的电压信号，从而计算出作用力的大小 。
在材料与技术路线上，传统的压阻式传感器使用金属应变片。然而，硅基MEMS（微机电系统）技术的兴起，为压阻式传感器带来了显著的性能提升 。硅基压阻式应变片具有比传统金属应变片高75倍的敏感系数 ，这意味着在相同应变下，其电阻变化更大，从而能实现更高的灵敏度和精度。此外，硅基材料易于微型化和大规模制造，使得传感器可以被制造得非常小巧且成本低廉 。这使得MEMS压阻式传感器在高灵敏度、低非线性度、小型化、轻量化和高可靠性等方面具有显著优势，尤其适用于航空航天等需要微压力测量的应用 。
2.1.2 电容式传感器：结构与性能特点
电容式传感器的工作原理基于电容值的变化。它通常由可动极板和固定极板组成，通过外力引起电极间距或重叠面积的变化，从而改变电容值，并将输入力转换为电容输出 。
相比压阻式传感器，电容式传感器具有多项优势，包括结构简单、使用寿命长、温度效应好和功耗低 。然而，它也存在一些局限性。电容式传感器对外部环境（如RF噪声）更敏感，且其基本噪声限度通常高于压阻式传感器 。尽管如此，通过采用特殊的结构设计，电容式传感器仍然在众多应用中具有价值 。
2.1.3 压电式传感器：动态测量的首选
压电式传感器的敏感元件由压电晶体（如压电陶瓷、压电聚合物）制成，其核心原理是压电效应。当晶体受到外力时，其内部会产生与外力成比例的电荷量，从而将压力信号转化为电压信号 。
这种传感器在测量动态压力、高静态压力下的小压力脉动以及准静态压力方面具有独特优势 。其响应速度快，非常适合需要快速响应的测量任务。然而，压电式传感器的一大局限是难以准确测量静态力，因为电荷会随时间泄漏 。
2.1.4 新兴传感原理：光学与磁致伸缩
除了上述主流技术，一些新兴的传感原理也正在探索中。
光学式传感器主要是基于光纤的光调制原理实现接触信息的测量 。其突出优势在于前端不含电学元件，因此具备良好的核磁共振兼容性和生物相容性，且不易受电磁干扰（EMI）影响，这使其非常适用于医疗成像等特殊场景 。然而，该方法在三维力感测方向上普遍集中于轴向，难以实现各向同性的高分辨力 。
磁致伸缩式传感器则利用了磁致伸缩材料（如铁镓、铁钴）在应力作用下磁场发生变化的效应 。该类材料因其优良的电磁性能，在多维力测量上具有潜力 。例如，利用L型铁钴丝作为敏感材料设计的三维力触觉传感器，因其性能稳定且不受取向关系影响，能够实现对多维力的精确测量 。此外，通过利用磁软体结构产生的磁场变化反演运动信息，并结合三维霍尔传感器，可以实现三维力的解耦感知，其偏差能达到小于2.8% 。
| 传感原理 | 核心材料 | 关键优势 | 主要局限 | 典型应用 |
| 压阻式 | 硅基MEMS、金属应变片 | 易于集成，响应线性，高精度，高灵敏度 | 功耗相对较高，对噪声存在敏感性 | 工业自动化，机器人力控，航空航天 |
| 电容式 | 聚合物、电极薄膜 | 功耗低，使用寿命长，良好的温度稳定性 | 对外部干扰敏感，基本噪声限度较高 | 消费电子，触摸屏，可穿戴设备 |
| 压电式 | PZT、PVDF压电晶体 | 动态响应快，适用于动态力测量 | 难以测量静态力，需要外部信号调理 | 动态压力测量，振动分析，准静态力测量 |
| 光学式 | 光纤布拉格光栅 | 无电学元件，生物相容性好，抗电磁干扰 | 力敏方向集中在轴向，解耦和分辨率挑战 | 医疗（核磁共振环境），人机交互 |
| 磁致伸缩式 | 铁钴、铁镓合金 | 信号强，多维力测量性能稳定，解耦潜力 | 材料在单一固定取向时性能受限（铁镓） | 智能机器人，游戏手柄，人机交互 |
第三章 关键材料与制造工艺：从刚性到柔性
3.1 刚性弹性体与传统制造工艺
传统的三维力传感器主要依赖于刚性弹性体，如不锈钢等金属材料，通过精密机械加工来构建其核心的力学结构 。弹性体的结构设计至关重要，它直接决定了传感器的输入-输出关系和性能 。例如，采用圆柱形梁式结构可以简化生产并降低成本，通过在其内部和外部布置应变片来实现对X、Y、Z三个方向的力测量 。此外，对弹性体钢杯进行研磨、抛光和去应力热处理，是确保传感器性能稳定性的关键步骤 。
然而，传统刚性传感器的设计原理和加工工艺通常较为复杂 ，这使其难以实现微型化和大规模批量化生产，从而限制了其在某些特定领域的应用。
3.2 柔性材料的突破与应用
柔性电子技术的兴起为三维力传感器的小型化、可变形和大规模生产提供了全新的路径。柔性传感器的核心在于其材料与结构能够承受拉伸、弯曲和扭曲等复杂形变，同时保持稳定的电学性能 。
3.2.1 柔性基底与导电材料
柔性传感器的实现依赖于轻薄、可弯曲、可拉伸的柔性基底和导电材料。在基底方面，聚酰亚胺（PI）因其优异的耐高温、耐低温和良好的电气特性，被认为是柔性电子基底最具潜力的材料 。聚二甲基硅氧烷（PDMS）则以其易于获取、化学性质稳定、透明和热稳定性好等优势被广泛采用。
在导电材料方面，传统的金属材料（如金、银、铜）因其固有脆性而受到限制。新型柔性导电材料成为了研究热点，例如导电纳米油墨（包括纳米颗粒和纳米线）、碳纳米管和石墨烯 。尤为引人注目的是镓基液态金属（Ga-LM） 。这种材料兼具金属的高导电性和液体的无限延展性，被认为是一种理想的柔性电极材料 。利用液态金属，可以制备出具有优异导电性和拉伸性能的电子皮肤，最大拉伸率可达850% 。
3.2.2 仿生结构设计：蛇形、折纸与岛-桥结构
为了让本质上脆性的无机功能器件（如半导体）在弯曲和拉伸下保持稳定的电学性能，研究人员发展了多种巧妙的力学结构设计策略 。
一种常见的设计是“岛-桥”结构，其中功能性元器件被置于不可变形的“岛”上，而连接它们的互联导线则设计成可拉伸的“桥” 。此外，各种具有弹性可拉伸的几何互联结构也被设计出来，如“之”字型、马蹄型、蛇型、螺旋型及剪纸结构等 。这些仿生几何结构通过自身的变形来吸收应变，从而为整体器件提供弹性延展性。清华大学团队研制的一种具有仿生三维架构的电子皮肤，能够同步感知压力、摩擦力和应变三种力学信号，其对压力位置的分辨率可达0.1毫米，接近真实皮肤的感知能力 。
柔性电池是柔性电子应用的严重瓶颈
柔性三维力传感器的核心价值在于其可变形性，这使其能够集成到可穿戴设备、软体机器人和电子皮肤等动态系统中 。然而，这些设备的实用化和商业化面临一个巨大的系统性挑战：可变形电源的缺乏 。传统的刚性锂离子电池在弯曲和折叠时，容易导致电极材料和集流体分离，影响电化学性能，甚至引发短路等严重安全问题 。这使得可形变电源成为柔性电子器件实际应用的严重瓶颈 。因此，柔性电池技术的突破，如采用仿生折纸电极材料结构设计或使用固态电解质来提升安全性，将是解锁柔性三维力传感器广阔应用前景的关键一步。只有当供能系统能够与传感器本身一样柔性、安全，整个柔性电子生态系统才能真正成熟。
3.3 先进制造技术：实现高精度与大规模生产
先进的制造技术是实现高性能三维力传感器的保障。MEMS技术能够将传感器制造得非常小巧且价格低廉，这为其微型化和大规模批量化生产奠定了基础 。
此外，3D打印技术为传感器的制造提供了新的可能性 。通过3D打印，可以快速、灵活地制造出定制化的三维结构和封装层，这不仅为传感器的小型化和功能定制提供了有效路径，也为未来的电子系统集成创造了条件。在微电极和导线阵列的制作上，可以采用基于SU-8+PDMS的UV-LIGA工艺，从而实现微电极的极小间距和批量化生产，大幅提升传感器的灵敏度和精度 。
第四章 技术挑战：维间耦合与解耦方案
4.1 维间耦合问题的本质
多维力传感器最核心的技术难题是“维间耦合”，又称“串扰” 。当传感器在某一轴向（如Z轴）受到力时，其信号输出不仅包含该轴的力信息，还会受到其他轴向力（如X、Y轴）的影响，导致测量结果不准确 。维间耦合是一个关键性能指标，直接反映了产品的耦合干扰情况，是衡量传感器性能优劣的重要标准 。一个真正高性能的三维力传感器，必须能够有效解决这一问题。
4.2 解耦技术路线分析
为了克服维间耦合，研究人员发展了两种主要的技术路线：结构解耦和算法解耦。
4.2.1 结构解耦：从设计层面解决串扰
结构解耦的核心理念是通过巧妙的弹性体结构设计，在物理层面实现各轴力学应变的独立或最小化耦合，从而从根本上解决串扰问题 。例如，有专利提出了一种“自解耦”的微型三维力传感器，利用三维正交布局的线圈和金属膜，通过涡流效应实现解耦 。在这种设计中，线圈只对与其平行的金属膜的法向位移敏感，与其它方向的位移不敏感，从而在测量时原始数据就具有很低的轴间耦合，无需复杂的标定和解耦 。另一种方案是设计内外环或特殊的弹性辐板结构，通过物理隔离来提高测量精度和灵敏度，从而实现轴向力对弯矩和扭矩的解耦 。
4.2.2 算法解耦：通过数据处理提升精度
即使传感器在结构上存在一定的耦合，也可以通过软件算法在数据处理阶段进行补偿和修正，以提高最终的测量精度 。常用的方法包括广义逆矩阵和BP神经网络 。最新的研究甚至提出了基于白鲨优化算法的优化极限学习机（WSO-ELM）等非线性解耦算法，能够将最大平均误差降低至0.51%，有效构建三维力维间耦合关系，并降低传感器耦合干扰 。这表明，算法解耦已经成为解决维间耦合，提升测量精度的重要且高效的手段。
软硬件协同是未来解耦的主流方向
尽管结构解耦可以从物理层面降低耦合，提高实时响应速度 ，但完美的物理解耦几乎无法实现。而单纯依赖算法解耦，虽然可以显著提升精度，但可能需要复杂的计算和标定过程 。因此，未来的发展趋势是将两者结合，形成软硬件协同的解决方案。其策略是：首先通过优化的弹性体结构来最小化原始信号的耦合，然后利用先进的算法（如BP神经网络或WSO-ELM）对残余的耦合进行精确补偿 。这种结合了物理优势和计算智能的方案，将是实现高精度、高响应三维力传感器的最佳路径，也是行业内公认的未来方向。
| 解耦方法 | 核心思想 | 优点 | 缺点 | 代表性技术 |
| 结构解耦 | 通过物理结构设计实现各轴应变独立 | 从根本上解决耦合，降低算法复杂性，响应速度快 | 设计和加工工艺复杂，难以实现完美的物理解耦 | 弹性体自解耦结构，三维正交线圈布局 |
| 算法解耦 | 通过软件算法对耦合信号进行补偿修正 | 灵活性高，可显著提升精度，解决结构性问题 | 需要复杂的标定过程，计算量大，可能影响实时性 | 广义逆矩阵，BP神经网络，WSO-ELM算法 |
第五章 三维力传感器的核心应用领域
5.1 机器人技术：人机协作的触觉基石
三维力传感器是机器人从单纯的自动化工具向智能协作伙伴转变的关键。它为机器人提供了“力觉”，使其能够感知环境，从事精细化作业，并实现真正意义上的“拟人化” 。
5.1.1 工业与协作机器人
在工业自动化领域，三维力传感器被广泛应用于各种机械臂和生产线上，通过精确测量和控制力的输出，以确保生产过程的质量 。具体应用包括：精密装配、力控打磨、碰撞检测以及抓取工件重量的在线测量。例如，在机器人抓取工件的在线测量中，力传感器能够检测工件是否缺损或类型是否错误，甚至在不占用机器人循环时间的情况下实现多重工件拾取。
在协作机器人领域，力传感器使机器人具备了示教功能，即通过拖拽机器人的手臂来直接进行编程。这种柔性生产模式能够快速适应高混合、小批量的定制化生产需求，减少生产线改造的时间和成本，从而提高生产效率和柔性 。
5.1.2 医疗与康复机器人
在医疗领域，力传感器被用于手术机器人，实现高精度的操作和控制 。微创外科手术机器人的力传感器需要满足医疗环境的特殊要求，如潮湿环境和多次消毒处理，并确保输出信号的真实、稳定和可靠性 。在康复机器人中，传感器则可以精确检测患者的握力和指尖捏合力，为康复情况的评估提供客观数据支持 。
从工业“工具”到人形“触觉”的演进
传统工业机器人主要依赖视觉和位置控制，其任务是预设的、重复性的 。但随着对机器人“拟人化”和“通用性”的追求，机器人需要像人类一样感知并响应外部作用力。三维力传感器为机器人提供了这种“力觉”感知能力 ，使其能够处理易碎物品、进行复杂人机交互。这种能力从根本上改变了机器人与环境的互动模式，是工业机器人从“自动化”向“智能化”迈进的关键一步。人形机器人，作为机器人技术的终极形态，其通用性操作（如拿起不同形状的物体、与人进行安全互动）和仿生功能（如行走时的足底压力分布测量）将完全依赖于高精度、高灵敏度的三维力传感器 。
5.2 电子皮肤与人形机器人
柔性三维力传感器是“电子皮肤”的核心组成部分。它旨在模仿人类皮肤，实现对压力、摩擦力和应变信号的同步感知和解码，从而为机器人提供媲美人类皮肤感知维度的感知能力 。
以清华大学等机构研制的仿生三维电子皮肤为例，该系统在物理层面实现了对压力、摩擦力和应变三种力学信号的同步解码和感知，对压力位置的分辨率约为0.1毫米，接近于真实皮肤的感知能力。这种技术突破为工业机器人、生物医疗和人机交互等领域提供了新路径 。在人形机器人领域，柔性三维力传感器将是其实现高精度、通用性操作的必不可少的硬件基础 。
| 应用领域 | 细分场景 | 核心任务 | 所需传感器类型 | 典型案例 |
| 工业机器人 | 精密装配、力控打磨、在线测量 | 精准控制力输出，确保生产质量和产品一致性 | 三维/六维力传感器，扭矩传感器 | ATI、SCHUNK等工业机器人末端执行器集成 |
| 协作机器人 | 拖拽示教、碰撞检测 | 实现人机安全协作，快速适应生产任务 | 六维力传感器、关节扭矩传感器 | OnRobot、Robotiq等协作机器人解决方案 |
| 医疗康复 | 手术机器人、康复机器人 | 实现微创手术的精密力控，评估患者康复情况 | 三维力传感器，普通力传感器 | 微创外科手术机器人，康复机器人指尖力检测 |
| 人形机器人 | 通用性操作，足底压力分布 | 实现类人行走和抓取，提供安全交互能力 | 三维力传感器，柔性三维力传感器 | 人形机器人足底压力测量，灵巧手力觉感知 |
| 电子皮肤 | 机器人触觉，人机交互 | 同步感知压力、摩擦力和应变，实现力觉感知 | 柔性三维力传感器 | 清华大学仿生三维电子皮肤系统 |
第六章 市场分析与竞争格局
6.1 全球市场规模与增长驱动力
柔性电子市场规模庞大且增长迅速。根据预测，全球柔性电子市场规模在2024年价值294亿美元，预计到2032年将增长至709.7亿美元，期间复合年增长率达12.0% 。这与更广泛的传感器市场（2024年为241.6亿美元，预计到2032年将达到4572.26亿美元）的强劲增长趋势相吻合。
市场增长主要由消费电子（特别是可折叠设备）、可穿戴设备、物联网、汽车和工业自动化等领域的需求驱动 。柔性电子器件的轻薄、可变形和高耐用性特点，使其能够满足这些新兴市场的需求。
6.2 产业链上下游概览
三维力传感器的产业链主要包括：
上游： 关键材料和零部件，如柔性基板（PET、PI、PDMS）、导电材料（纳米油墨、碳材料、液态金属）以及核心芯片和元器件 。
中游： 传感器的设计、制造和封装，包括弹性体加工、应变片贴合、电路集成和系统校准等。
下游： 系统集成与终端应用，如工业机器人、医疗设备、消费电子、航空航天等 。
6.3 主要厂商与市场竞争格局
在全球市场中，ATI、SCHUNK、Robotiq、OnRobot等国外企业在工业机器人力传感器高端市场占据主导地位，合计占据中国市场份额的70% 。这些企业在核心技术、产品性能（如高精度、低串扰）和批量化生产能力方面拥有显著优势 。例如，宇立仪器（SRI Sensor）的M38XX系列高精度工业级六轴力传感器，其非线性度、迟滞度小于0.2%F.S，串扰小于1%F.S，显示出其在高精度领域的实力 。ATI则以其力/扭矩传感器和工具更换器等产品在机器人末端执行器市场占据领先地位。
尽管国外企业目前占据绝对优势，但以宇立仪器、坤维科技和蓝点触控为代表的国内企业，在产品性能和市场占有率方面已进入国内市场第一梯队 。这些国内公司在核心技术方面具备自主可控能力，并通过加大研发投入，积极布局六维力传感器和人形机器人等新兴领域 。
国产化替代的机遇与挑战
中国作为全球最大的机器人市场，对高性能传感器有着巨大的消费需求和显著的供应链优势 。这种环境为国内企业提供了独特的“创新土壤”。国内公司可以凭借“上午发图纸，晚上拿回零部件”的快速研发和迭代能力，有效降低试错成本 。这使得国产企业未来有望主导六维力传感器的降本普及，并在人形机器人等高附加值领域导入应用，逐步改变当前的竞争格局 。从长远看，国产化替代不仅是技术追赶，更是通过高效供应链和快速响应能力，重塑全球市场竞争格局的关键。
| 厂商类型 | 主要厂商 | 核心产品/技术特点 | 市场定位 |
| 国际领先企业 | ATI, SCHUNK, Robotiq | 高精度、低串扰的六维力传感器，机器人末端执行器 | 高端工业自动化，科研测试 |
| 国内新锐企业 | 宇立仪器, 坤维科技, 蓝点触控 | 高精度、高性价比的六维力传感器，矩阵解耦技术 | 国内第一梯队，积极布局人形机器人 |
第七章 总结与未来展望
7.1 报告核心洞见总结
本报告深入分析了三维力传感器从刚性到柔性的技术演进路径。这一转变的核心驱动力在于材料（如液态金属和碳基材料）和结构（如仿生几何设计）的创新，使得传感器能够适应更多变、更复杂的应用环境。报告指出，维间耦合是该领域的核心技术难题，而未来的解决方案将不再局限于单一的物理或算法层面，而是将通过软硬件协同的方式，在结构设计上最小化耦合，并在数据处理上通过AI算法进行精确补偿。此外，柔性电池作为柔性电子生态系统的关键瓶点，其技术突破将直接决定柔性三维力传感器的商业化进程和大规模应用。尽管国际企业在高端市场占据主导地位，但中国企业正凭借其强大的供应链优势和快速的研发迭代能力，加速实现国产化替代，并在人形机器人等新兴领域取得显著进展。
7.2 面临的挑战
尽管发展前景广阔，三维力传感技术仍面临多重挑战。在技术层面，如何在高灵敏度、高精度、低串扰的同时实现小型化和集成化，依然是研究的难点 。在商业层面，柔性材料和制造工艺的高昂成本、设备的耐用性（特别是可折叠设备的高昂维修成本）以及行业标准化体系的缺失，都是制约市场普及的主要障碍 。
7.3 未来发展趋势与建议
基于上述分析，三维力传感器的未来发展将呈现以下几个主要趋势：
多模态传感器融合： 未来的传感器将不仅仅局限于力觉感知，而是会集成多种信号，如力、位移、温度、触觉等，构建更全面的环境感知能力 。这种融合将使机器人和智能设备能够更准确地理解和响应外部世界。
智能解耦算法： 随着人工智能技术的发展，未来的解耦算法将更加高效和自适应。结合深度学习和神经网络，传感器将能够实时、精确地处理复杂的耦合信号，从而实现更高的测量精度和更广泛的适用性 。
材料与结构创新： 研究将持续探索液态金属、碳基材料等新型柔性导电材料，并利用计算设计（如拓扑优化）和3D打印技术，实现轻量化、高集成度的传感器设计 。这将为传感器的制造提供更多自由度和可能性。
在人形机器人中的深度渗透： 人形机器人对力觉感知的需求是空前的。柔性三维力传感器将是人形机器人实现高精度、通用性操作的关键，其在足底、指尖、关节等部位的应用将成为研发热点 。
国产化替代与生态系统构建： 国内企业应聚焦高性价比和定制化解决方案，巩固在中低端市场的优势，并逐步向高端工业和新兴应用领域渗透 。同时，推动产业链上下游的协同创新，特别是与柔性电池、柔性显示等相关技术的共同发展，以解决系统性瓶颈，构建完整的柔性电子产业生态 。
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